为了提高太阳能电池盖玻璃的透光性和自清洁性能，电池极片等离子刻蚀机采用电子回旋共振(ECR)等离子体刻蚀和金属颗粒，采用掩膜刻蚀硼硅酸盐玻璃的方法，利用扫描电子显微镜(SEM)观察刻蚀后玻璃的表面形貌，用分光光度计测量刻蚀前后玻璃透光率的变化，用接触角计测量刻蚀前后玻璃表面润湿性的变化。结果表明，经
