这些离子具有很高的活性，电晕机的构造黑色其能量足以破坏几乎所有的化学键，并在任何暴露的表面上引起化学反应。不同气体的电晕具有不同的化学性质。例如，氧电晕氧化性高，可氧化光刻胶产生气体，从而达到清洗效果。腐蚀气体的电晕具有良好的各向异性，可以满足刻蚀的需要。电晕处理会发出辉光，故称辉光放电处理。辉光放
