电晕刻蚀机中的气体接触电子区会形成电晕，电晕处理设备触电电离的气体与释放的高能电子形成气体电晕。电离气体原子动能比更小，除非它们被电场加速。当加速时，它们释放出足够的力来紧紧地结合在表面驱动力上，粘附在材料上或蚀刻表面。电晕效应转化为材料蚀刻过程在分子水平上使用活性气体时也可以发生化学反应。电晕刻蚀
