第一阶段用高纯N2产生电晕，电晕处理怎么运用同时预热印制板，使高分子材料处于一定的活性（化学）状态；第二阶段以O2和CF4为原始气体，混合后产生O、F电晕，与丙烯酸、PI、FR4和玻璃纤维反应，达到去除钻井污垢的目的；第三阶段以O2为原始气体，产生的电晕和反应残留物使孔壁清洁。在电晕清洗过程中，除了
