在GaN电力电子器件市场上，电子电路等离子体清洁由于台湾台积电与世界先进企业开放代工能力，Transphorm、EPC、Navitas、GaN Systems等设计公司应运而生。低温等离子体中带电粒子的浓度，电子电路等离子体蚀刻机器主要是电子和带正电的离子，比中性粒子的浓度低得多。动能较高的电子轰击
