反应室由真空室和真空系统、提供不同种类和流量气体的气体系统、射频电源及其调节匹配电路系统组成。等离子体刻蚀的原理可以概括为以下几个步骤：1.低压下，漆膜附着力的六个等级在射频功率激发下，反应气体电离形成等离子体。等离子体是由带电的电子和离子组成的。启天科技生产的等离子清洗机是一种清洗非常精细彻底的表
