主要步骤如下:首先将要清洗的工件送入真空室进行固定,湖北等离子体除胶机视频教程启动真空泵等装置,启动抽真空,抽真空至真空度10Pa左右。接下来,将一种用于等离子清洗的气体引入真空室(根据清洗材料的不同,选择不同的气体(氧气、氢气、氩气、氮气等),以保持压力接近Pa;高频。施加电压真空室内的电极与接地