等离子体的“活性”成分包括离子、电子、原子、反应基团、激发核素（亚稳态）、光子等。等离子清洗剂利用这些活性成分的特性对样品表面进行处理，海南直喷等离子清洗机达到清洗、镀膜等目的。石英等离子清洗机等离子清洗机的使用始于 20 世纪初。随着高新技术产业的飞速发展，其应用也越来越广泛。目前应用于许多高科技
