此外，氩气plasma除胶机器其生产成本低，清洗具有优良的均匀性和重复性，可控性强，易于大批量完成生产基本的等离子清洗设备由四个主要部分组成，即励磁电源、真空泵、真空室、回波气源。励磁电源是气体放电能量的来源，可以选择不同的频率;真空泵是抽走副产物的主要作用，反应气源一般选用单一气体，如氩气、氧气、
