排气时间通常需要几分钟左右。 2. 将等离子清洗气体引入真空室，氧气等离子体处理后的产物以稳定室内压力。氧气、氩气、氢气、氮气、四氟化碳和其他气体可以使用分贝，具体取决于清洁剂。 3、当在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压时，气体分解产生等离子体，辉光放电产生等离子体。结果，在真空室中产生的等
