氩气和氦气具有稳定特性，氧化铝表面改性处理工艺分子的低充放电电压非常容易产生亚稳态分子。一方面，利用它们高能粒子的物理功效，清理容易被氧化或还原的物体。Ar+轰击泥土产生挥发性化学物质。污染物被抽离真空泵，以防止表面化学物质发生反应。氩极易产生亚稳态分子，与氧原子碰撞时产生正电荷变换和复合。在等离子
