在等离子体环境中，氧化硅和氧化铝的亲水性由于放电产生大量的离子和电子，离子由于电极电势或等离子体自偏压的作用而被加速并向晶圆表面运动， 它们对衬底产生物理轰击并促进了表面的化学反应。这些离子和电子电流被暴露于等离子体中的金属收集，聚集在多晶硅或铝的栅电极，这时金属层的功能就是个“天线&r
