示例：Ar+e→Ar++2E-Ar++污染→挥发性污染Ar+在自偏压或施加偏压的作用下加速产生动能，树脂附着力差然后轰击放置在负极上的清洗工件表面，一般用于去除氧化物、环氧树脂溢出物或微粒污染物，同时进行表面能活化。物理化学清洗：物理反应和化学反应在表面反应中起着重要作用。氧化层和水合物层在界面老化
