氮等离子体表面处理不同于其他日光化技术，日光蚀刻摄影法它是由辉光放电刺激氮气的。用这种方法激发氮有几个非常重要的结果:(1)等离子体氮化能更好地控制成品表面的成分、结构和性能。氨化作用不会导致逎的形成,一个经常脆性混合相(复合区域)。(2)等离子体渗氮可以在比常规渗氮温度更低的条件下进行，从而保持芯
