在第三阶段，电镀锌板的附着力O2 用作原始气体，产生的等离子体如下所示：反应残余物清洁孔壁。在等离子清洗过程中，除等离子化学反应外，等离子还与材料表面发生物理反应。等离子体粒子敲除材料表面上的原子或附着在材料表面上的原子。这有利于清洁和蚀刻反应。随着材料和技术的发展，嵌入式盲孔结构的实现将越来越小，
