此类特定官能团，干法刻蚀的优缺点尤其是含氧官能团的引入，对提高材料的粘合性和润湿性具有明显的作用。等离子清洗应用 1 蚀刻工艺 在某种程度上，等离子清洗本质上是等离子蚀刻的温和版本。用于干法蚀刻工艺的设备包括反应室、电源和真空部件。工件被送入反应室，由真空泵抽真空，并引入气体以取代等离子体。等离子体
