三种适用于真空等离子体设备的平板电极结构本文介绍了一种用于真空等离子体放电和材料表面改性研究的新型真空等离子体设备。平板电极是真空等离子体设备中常见的电极结构，常见的亲水性材料分为水平平板电极、垂直平板电极和组合平板电极。使用等离子清洗机加工铜引线框架引线框架作为封装的主要结构材料，常见的亲水性材料
