在射频等离子渗氮中，工业清洁生产等离子的产生和电路板偏压是分开控制的，因此离子能量和到电路板表面的通量可以分开控制。由于工作气压相对较低，耗气量会相应减少（减少）。在自由基氮化过程中，低能量直流辉光放电可以产生可用于氮化的NH自由基。整个过程与气体氮化过程一样，需要外部电源来加热工件。工业不仅可以精
