等离子蚀刻机的典型应用有半导体/集成电路、氮化镓、氮化铝镓/氮化镓、砷化镓/砷化镓、砷化镓、砷化镓（INP INGAAS/INALAS）、硅、锗硅、氮化硅陶瓷（SI3N4） . )；氮化硅；硒化锌 (ZNSE)；金属；铝；铬；铂；钼；铌；钽；钛；钨；二氧化物；氧化铟锡；钛酸锆 (PZT)；碳化硅；塑
