2.真空等离子处理设备的真空室： 1）不锈钢真空室； 2) 石英室。 3、真空泵： 1) 干泵； 2）油泵。以上是一系列真空等离子处理设备，亲水性处理原理通过对样品物体表面的清洗，可以达到清洗、改性、光刻胶灰化效果。。如何排除真空等离子清洗机的使用故障？真空等离子清洗机实际上是一种表面处理设备，配置
