等离子清洗机的原理是利用等离子体的特点,大量活性粒子,如electroslurry激动分子,自由基在样品表面使用,不仅删除原来的污垢和灰尘,和腐蚀的样品,使样品表面厚,形成许多小抑郁,增加样本比例。提高固体表面的润湿性。增加微电子能量的一种更简单的方法是增加平行板上的直流电压。微电子被带正电的电极吸
