常用频率为13.56MHz和2.45GHZ。然后调整适当的输出。对于一定量的气体，增加附着力的材料输出量高，等离子体中活性粒子的密度高，脱胶率高。当功率增加到一定值时，反应将可消耗的活性离子填满，无论功率再高，脱胶率都不会明显增加。因功率大，板温高，需按技术要求安排功率。三、调整适当的真空度。适当的
