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反应离子刻蚀机理(反应离子刻蚀的主要工艺参数)

反应离子刻蚀机理(反应离子刻蚀的主要工艺参数)

我希望它会对你们所有人有所帮助。。等离子清洗机和超声波清洗机的区别:等离子清洗机是一种干法清洗,反应离子刻蚀机理主要清洗很小的氧化物和污染物。它是利用工作气体在电磁场的作用下刺激等离子体与物体表面发生物理化学反应,从而达到清洗的目的。而超声波清洗机是湿式清洗的一种,主要清洗的是很明显的灰尘和污染物,