等离子清洗技术具有离子密度高、刻蚀均匀、刻蚀侧壁垂直度高、表面粗糙度高等优点，南京等离子清洗机设备厂家在半导体加工技术中得到广泛应用。等离子清洗技术在多晶硅晶圆上提供了出色的蚀刻效果。等离子清洗机性价比高，操作简单，配备蚀刻组件，可提供多功能蚀刻功能。对等离子表面进行清洗和活化后，可以改善常规材料的
