在半导体器件的制造过程中，快速等离子体云几乎所有的工序都需要清洗，而晶圆的清洗质量对器件的性能影响很大。晶圆清洗是半导体制造过程中重要的高频工艺，考虑到工艺质量直接影响设备的产量、性能和可靠性，国内外各大公司和科研机构都进行了大量研究。我去了。关于清洁过程。等离子表面处理机是一种先进的干洗技术，具有
