等离子体在HDI板盲孔清洗中一般分为三个步骤。第一阶段用高纯N2产生等离子体，单组份玻璃漆附着力促进剂同时预热印制板，使高分子材料处于一定的活化状态；第二阶段以O2和CF4为原始气体，混合后产生O、F等离子体，与丙烯酸、PI、FR4和玻璃纤维反应，达到去除钻井污垢的目的；第三阶段以O2为原始气体，产
