光催化剂与等离子设备放电之间是相互影响的，低温等离子清洗设备生产厂催化剂可以改变等离子放电的性质，使其放电产生氧化性更强的新活性物质；而等离子放电会影响催化剂的化学组成、比表面积及催化结构，提高其催化活性，大大增强低温等离子+光催化技术净化VOCs的效率。等离子设备较适用于风大量、较低浓度的有机质废
