因此，表面改性增强项目该装置的设备成本不高，清洗过程中不需要使用昂贵的有机溶剂，整体成本低于传统的湿式清洗技术G)使用plasma等离子清洗，无需使用清洗液，减少了运输、贮藏和排放等成本支出，而且生产现场无二次污染，绿色环保。H)等离子清洗可处理各种材材料，包括金属、半导体、氧化物、高分子材料(聚丙
