众所周知，亲水性好说明什么不同铜互连技术的结构基础是大马士革结构，而大马士革结构的刻蚀在后台工艺中占有重要地位。后刻蚀方法有多种类型，如先刻蚀通孔后刻蚀沟道、先刻蚀沟道后刻蚀通孔和同时刻蚀通孔沟道。但无论哪种方式，蚀刻后晶圆内部都存在静电残留，静电去除的质量直接影响沟道和通孔的质量。。等离子清洗机，
