在射频(rf)等离子体处理器等离子体腔体氮和氢等离子体(例如,氨基,NH, N,等等)在钛表面的轰击,氧化钛债券破裂,同时产生氢等离子体氧化钛表面,纯钛表面的一部分将会暴露在等离子体的气氛中,高能氮氢等离子体新键如Ti-NH2, TiN或TiN，工业用钛表面改性以及N-O可以通过与钛再结合而形成。纯
