解离中性气体原子超过这个结合能是可能的，二氧化硅plasma除胶机但由于外界的电子往往缺乏能量，不具备解离中性气体原子的能力，所以需要使用外能法。原子电子能量。因此，电子被用来解离这种中性气体的原子。给电子增加能量的方法是用平行电极板施加直流电压。电极中的电子被带正电的电极吸引和加速。在加速过程中，
