在硅衬底上热生长的SiO2薄膜经过等离子清洗机的等离子表面处理，二氧化硅表面改性巯基提高了二氧化硅薄膜驻极体的稳定电荷积累。有机高分子驻极体材料具有优异的电荷储存稳定性，市面上的驻极体传感器多为有机高分子驻极体薄膜传感器。该传感器虽然具有寿命长、薄膜型、成本低等优点，但体积庞大的分立器件，无法满足驻
