等离子体在半导体工业中的应用是基于集成电路的精细元器件和连接线，亲水性聚氨酯技术因此在工艺过程中容易受到灰尘或有机物的污染，容易造成晶圆损耗；坏和短路。为了消除工艺中的这些问题，在后续工艺中引入等离子表面处理设备进行预处理。等离子表面处理机的使用是为了更好地保护我们的产品，而不破坏晶圆的表面性质。L
